ロボシリンダ
クリーン仕様
クラス10対応のクリーンルーム向けのアクチュエーターです。
クリーンルーム内での搬送や位置決めにご使用いただけます。
メーカー
アイエイアイ(IAI)
特徴
製品特長
■本体上面のステンレスシートにより開口部のない密閉構造を実現しました
■本体内部のエア吸引を行うことで、クリーン度クラス10（ISOクラス2.5）対応を実現しました
■密閉構造のため、垂直方向や水平横立て方向といった設置方向でも使用が可能です
用途
■半導体関係やFPD関連等、塵や埃を嫌う製造工程での位置決め・搬送・測長用途に最適です
